美國BROOKS流量計-超高純度壓力傳感器和變送器
挑戰(zhàn)：改善超高純度工藝中的氣體管理
許多晶圓廠的大容量氣體源和機柜與他們提供的工具相距很遠。24/7 全天候準確和受控地輸送這些氣體對于工具的利用率和正常運行時間至關(guān)重要——因此實施壓力傳感器和變送器來測量、跟蹤和傳達壓力水平，并在壓力超出設(shè)定點時生成警報同樣重要。
解決方案：SolidSense II® 壓力傳感器
Brooks SolidSense II® 壓力傳感器設(shè)計用于處理當(dāng)今最尖端的半導(dǎo)體工藝和節(jié)點中使用的復(fù)雜且有時苛刻的氣體。它們結(jié)合了無焊接、耐腐蝕的材料，精度在滿量程的 0.25% 以內(nèi)。通過使用由優(yōu)質(zhì)不銹鋼加工而成的獨特的一體式傳感器，SolidSense II 傳感器無論被測量的氣體如何，都表現(xiàn)出出色的長期穩(wěn)定性。
產(chǎn)品
微分器 超高純度
壓力范圍 -15 磅/平方英寸 - 3000 磅/平方英寸
建筑材料 外殼：不銹鋼、聚合物塑料
模擬通信 0-5 Vdc、0-10 Vdc、0.2-5.2 Vdc、2-10 Vdc、4-20 mA
認證/批準
EMC：符合歐盟指令 2004/108/EC
FM 認證：非易燃，可用于 I 類、II 類 A、B、C 和 D 組危險應(yīng)用