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MKS流量控制器
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典型精度:20至100%滿量程時為設(shè)定值的1 %, 2至20%滿量程時為滿量程的0.2% 可重復(fù)性:讀數(shù)的0.3% 解決:滿量程的0.1% 零溫度系數(shù):%3C0.05%滿量程/℃ 跨度溫度系數(shù):讀數(shù)的% 3c 0.08%/C 入口壓力系數(shù):讀數(shù)的%3C0.02%每平方英寸 典型建立時間:%3C750毫秒,典型值高于滿量程的5% 預(yù)熱:時間30分鐘 工作溫度:10 - 50攝氏度儲存濕度:0至95%相對濕度,非冷凝 儲存溫度:-20至80攝氏度 外部泄漏完整性:%3C1 x 10-09(SCC/秒He) 通過關(guān)閉的閥門泄漏完整性:高達(dá)10K閥門%3C0.1%的40 psig大氣壓力下的FS,20K - 50K閥門%3C1.0%的40 psig大氣壓力下的FS 濕材料:316L不銹鋼VAR、316不銹鋼、埃爾吉洛伊鎳 表面拋光:16英寸平均半徑 重量:3磅(1.4千克)


預(yù)熱:時間30分鐘工作溫度:10-50攝氏度儲存濕度:0至95%相對濕度,非冷凝儲存溫度:-20至80攝氏度外部泄漏完整性:%3C1x10-09(SCC/秒He)通過關(guān)閉的閥門泄漏完整性:高達(dá)10K閥門%3C0.1%的40psig大氣壓力下的FS,20K-50K閥門%3C1.0%的40psig大氣壓力下的FS濕材料:316L不銹鋼VAR、316不銹鋼、埃爾吉洛伊鎳表面拋光:16英寸平均半徑重量:3磅(1.4千克)服從:英國國教會


類型:質(zhì)量流量控制器 校準(zhǔn)氣體:N2(或同等產(chǎn)品) 控制范圍:2 - 100 sccm 滿量程流量范圍:100 sccm 配件類型:0.25英寸。世偉洛克風(fēng)格 密封材料:氟橡膠 流量輸入輸出信號:0 - 5伏直流電 模擬連接器:15針D-sub(接地) 大入口壓力:150磅/平方英寸 正常工作壓差:10至40磅/平方英寸 耐受壓力:1000磅/平方英寸 破裂壓力:1500磅/平方英寸


嵌入式用戶界面提供了輕松更改設(shè)備范圍和用戶氣體的能力,從而降低了庫存需求。您還可以監(jiān)視MFC功能并就地收集性能數(shù)據(jù)。成熟的專利熱傳感器設(shè)計提供了的零點(diǎn)穩(wěn)定性。美國專利號5461913。美國mks流量計產(chǎn)品系列概述GE50A彈性體密封的5-50,000sccm質(zhì)量流量控制器類型:質(zhì)量流量控制器校準(zhǔn)氣體:N2(或同等產(chǎn)品)控制范圍:2-100sccm滿量程流量范圍:100sccm配件類型:0.25英寸。世偉洛克風(fēng)格密封材料:氟橡膠流量輸入輸出信號:0-5伏直流電模擬連接器:15針D-sub(接地)大入口壓力:150磅/平方英寸正常工作壓差:10至40磅/平方英寸耐受壓力:1000磅/平方英寸破裂壓力:1500磅/平方英寸典型精度:20至100%滿量程時為設(shè)定值的1%,2至20%滿量程時為滿量程的0.2%可重復(fù)性:讀數(shù)的0.3%


美國mks流量計技術(shù)規(guī)格類型:質(zhì)量流量控制器校準(zhǔn)氣體:N2(或同等產(chǎn)品)控制范圍:20-1000sccm滿量程流量范圍:1000sccm配件類型:4錄像機(jī)男性密封材料:氟橡膠流量輸入輸出信號:0-5伏直流電模擬連接器:15針D-sub(接地)大入口壓力:150磅/平方英寸正常工作壓差:10至40磅/平方英寸耐受壓力:1000磅/平方英寸破裂壓力:1500磅/平方英寸典型精度:20至100%滿量程時為設(shè)定值的1%,2至20%滿量程時為滿量程的0.2%可重復(fù)性:讀數(shù)的0.3%解決:滿量程的0.1%零溫度系數(shù):%3C0.05%滿量程/℃跨度溫度系數(shù):讀數(shù)的%3c0.08%/C入口壓力系數(shù):讀數(shù)的%3C0.02%每平方英寸典型建立時間:%3C750毫秒,典型值高于滿量程的5%預(yù)熱時間:30分鐘


工作溫度:10-50攝氏度儲存濕度:0至95%相對濕度,非冷凝儲存溫度:-20至80攝氏度外部泄漏完整性:%3C1x10-09(SCC/秒He)通過關(guān)閉的閥門泄漏完整性:高達(dá)10K閥門%3C0.1%的40psig大氣壓力下的FS,20K-50K閥門%3C1.0%的40psig大氣壓力下的FS濕材料:316L不銹鋼VAR、316不銹鋼、埃爾吉洛伊鎳表面拋光:16英寸平均半徑重量:3磅(1.4千克)服從英國國教會G系列GE50A013103SMV020數(shù)字控制質(zhì)量流量控制器利用的MKS控制算法,在整個設(shè)備控制范圍內(nèi)對設(shè)定值做出和可重復(fù)的響應(yīng)。它的滿量程流量范圍為100sccm,控制范圍為2至1000sccm,具有接地的15引腳D-submixture連接器,以及0-5VDC流量輸入/輸出信號。美國mks流量計產(chǎn)品系列概述

無錫飛斯卡精密科技有限公司專業(yè)從事各大科研院校等質(zhì)量流量控制系統(tǒng)的銷售與服務(wù)。是質(zhì)量、流量、壓力、真空、溫度測量與控制系統(tǒng)的專業(yè)供應(yīng)商。
 
質(zhì)量流量控制事業(yè)部專業(yè)從事銷售服務(wù)世界著名的MFC,知名品牌有:Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等,品種規(guī)格齊全,同時經(jīng)銷真空
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HUETTINGER(直流電源、射頻電源、中頻電源),VARIAN、PFEIFFER真空泵等;氣體壓力及流量測量和控制, 射頻 /直流 /微波電源發(fā)生器及測量工具, 氟離子 /
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