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MKS流量控制器
湖南進(jìn)口美國(guó)mks流量計(jì)的詳細(xì)信息
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  • 產(chǎn)品分類(lèi):MKS流量控制器
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解決:滿(mǎn)量程的0.1%零溫度系數(shù):%3C0.05%滿(mǎn)量程/℃跨度溫度系數(shù):讀數(shù)的%3c0.08%/C入口壓力系數(shù):讀數(shù)的%3C0.02%每平方英寸典型建立時(shí)間:%3C750毫秒,典型值高于滿(mǎn)量程的5%預(yù)熱:時(shí)間30分鐘工作溫度:10-50攝氏度儲(chǔ)存濕度:0至95%相對(duì)濕度,非冷凝儲(chǔ)存溫度:-20至80攝氏度外部泄漏完整性:%3C1x10-09(SCC/秒He)通過(guò)關(guān)閉的閥門(mén)泄漏完整性:高達(dá)10K閥門(mén)%3C0.1%的40psig大氣壓力下的FS,20K-50K閥門(mén)%3C1.0%的40psig大氣壓力下的FS濕材料:316L不銹鋼VAR、316不銹鋼、埃爾吉洛伊鎳表面拋光:16英寸平均半徑重量:3磅(1.4千克)服從:英國(guó)國(guó)教會(huì)美國(guó)mks流量計(jì)G系列GE50A013103RMV020數(shù)字控制質(zhì)量流量控制器利用的MKS控制算法,在整個(gè)設(shè)備控制范圍內(nèi)對(duì)設(shè)定值做出和可重復(fù)的響應(yīng)。它的滿(mǎn)量程流量范圍為1000sccm,控制范圍為20至1000sccm,具有接地的15引腳D-submixture連接器,以及0-5VDC流量輸入/輸出信號(hào)。


美國(guó)mks流量計(jì)G系列GE50A數(shù)字控制質(zhì)量流量控制器可提供RS485、Profibus、EtherCAT、PROFINET或DeviceNetI/o。數(shù)字控制電子設(shè)備利用的MKS控制算法,在整個(gè)設(shè)備控制范圍內(nèi)對(duì)設(shè)定值做出、可重復(fù)的響應(yīng)。典型的響應(yīng)時(shí)間大約為500毫秒。數(shù)字校準(zhǔn)在校準(zhǔn)氣體上產(chǎn)生1%的設(shè)定點(diǎn)精度。廣泛的數(shù)字和模擬接口選擇GE50A數(shù)字控制MFC可提供模擬或數(shù)字I/O。數(shù)字控制電子設(shè)備利用的MKS控制算法,在整個(gè)設(shè)備控制范圍內(nèi)對(duì)設(shè)定點(diǎn)提供和可重復(fù)的響應(yīng)。典型的響應(yīng)時(shí)間大約為500毫秒。GE50A的模擬和數(shù)字I/O可輕松用于替換1179AMFCs的相同I/O類(lèi)型。GE50As都包括Modbus作為可用的輔助I/O(不包括PROFINET和EtherCAT)。


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G系列GE50A013201RMV020的滿(mǎn)量程流量范圍為20 sccm,控制范圍為0.4至20 sccm,具有接地的15引腳D-sub mixture連接器和0-5 VDC流量輸入/輸出信號(hào)。校準(zhǔn)N2(或等效氣體),這是一個(gè)數(shù)字控制的質(zhì)量流量控制器,利用的MKS控制算法,在整個(gè)設(shè)備控制范圍內(nèi)和可重復(fù)地響應(yīng)設(shè)定點(diǎn)。美國(guó)mks流量計(jì)產(chǎn)品系列概述 GE50A彈性體密封的5-50,000 sccm質(zhì)量流量控制器


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