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MKS流量控制器
西藏供應(yīng)美國(guó)mks流量計(jì)修理
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  • 產(chǎn)品分類:MKS流量控制器
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西藏供應(yīng)美國(guó)mks流量計(jì)修理


G系列GE50A013201RMV020的滿量程流量范圍為20 sccm,控制范圍為0.4至20 sccm,具有接地的15引腳D-sub mixture連接器和0-5 VDC流量輸入/輸出信號(hào)。校準(zhǔn)N2(或等效氣體),這是一個(gè)數(shù)字控制的質(zhì)量流量控制器,利用的MKS控制算法,在整個(gè)設(shè)備控制范圍內(nèi)和可重復(fù)地響應(yīng)設(shè)定點(diǎn)。美國(guó)mks流量計(jì)產(chǎn)品系列概述 GE50A彈性體密封的5-50,000 sccm質(zhì)量流量控制器


美國(guó)mks流量計(jì)G系列GE50A數(shù)字控制質(zhì)量流量控制器可提供RS485、Profibus、EtherCAT、PROFINET或DeviceNetI/o。數(shù)字控制電子設(shè)備利用的MKS控制算法,在整個(gè)設(shè)備控制范圍內(nèi)對(duì)設(shè)定值做出、可重復(fù)的響應(yīng)。典型的響應(yīng)時(shí)間大約為500毫秒。數(shù)字校準(zhǔn)在校準(zhǔn)氣體上產(chǎn)生1%的設(shè)定點(diǎn)精度。廣泛的數(shù)字和模擬接口選擇GE50A數(shù)字控制MFC可提供模擬或數(shù)字I/O。數(shù)字控制電子設(shè)備利用的MKS控制算法,在整個(gè)設(shè)備控制范圍內(nèi)對(duì)設(shè)定點(diǎn)提供和可重復(fù)的響應(yīng)。典型的響應(yīng)時(shí)間大約為500毫秒。GE50A的模擬和數(shù)字I/O可輕松用于替換1179AMFCs的相同I/O類型。GE50As都包括Modbus作為可用的輔助I/O(不包括PROFINET和EtherCAT)。


預(yù)熱:時(shí)間30分鐘工作溫度:10-50攝氏度儲(chǔ)存濕度:0至95%相對(duì)濕度,非冷凝儲(chǔ)存溫度:-20至80攝氏度外部泄漏完整性:%3C1x10-09(SCC/秒He)通過(guò)關(guān)閉的閥門泄漏完整性:高達(dá)10K閥門%3C0.1%的40psig大氣壓力下的FS,20K-50K閥門%3C1.0%的40psig大氣壓力下的FS濕材料:316L不銹鋼VAR、316不銹鋼、埃爾吉洛伊鎳表面拋光:16英寸平均半徑重量:3磅(1.4千克)服從:英國(guó)國(guó)教會(huì)


HUETTINGER(直流電源、射頻電源、中頻電源),VARIAN、PFEIFFER真空泵等;氣體壓力及流量測(cè)量和控制, 射頻 /直流 /微波電源發(fā)生器及測(cè)量工具, 氟離子 / 臭氧反應(yīng)氣體發(fā)生器, 真空產(chǎn)品, 氣體分析儀, 靜電控制及信息和控制技術(shù)等產(chǎn)品。我們的氣體流量校準(zhǔn)系統(tǒng),對(duì)品牌的MFC都可的清洗校準(zhǔn)。


典型精度:20至100%滿量程時(shí)為設(shè)定值的1 %, 2至20%滿量程時(shí)為滿量程的0.2% 可重復(fù)性:讀數(shù)的0.3% 解決:滿量程的0.1% 零溫度系數(shù):%3C0.05%滿量程/℃ 跨度溫度系數(shù):讀數(shù)的% 3c 0.08%/C 入口壓力系數(shù):讀數(shù)的%3C0.02%每平方英寸 典型建立時(shí)間:%3C750毫秒,典型值高于滿量程的5% 預(yù)熱:時(shí)間30分鐘 工作溫度:10 - 50攝氏度儲(chǔ)存濕度:0至95%相對(duì)濕度,非冷凝 儲(chǔ)存溫度:-20至80攝氏度 外部泄漏完整性:%3C1 x 10-09(SCC/秒He) 通過(guò)關(guān)閉的閥門泄漏完整性:高達(dá)10K閥門%3C0.1%的40 psig大氣壓力下的FS,20K - 50K閥門%3C1.0%的40 psig大氣壓力下的FS 濕材料:316L不銹鋼VAR、316不銹鋼、埃爾吉洛伊鎳 表面拋光:16英寸平均半徑 重量:3磅(1.4千克)


服從:英國(guó)國(guó)教會(huì)無(wú)錫飛斯卡精密科技有限公司從事各大科研院校等質(zhì)量流量控制系統(tǒng)的銷售與服務(wù)。是質(zhì)量、流量、壓力、真空、溫度測(cè)量與控制系統(tǒng)的供應(yīng)商。 質(zhì)量流量控制事業(yè)部從事銷售服務(wù)世界的MFC,有:Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等,品種規(guī)格,同時(shí)經(jīng)銷真空 和鍍膜設(shè)備的品牌包括:INFICON(美國(guó)mks流量計(jì),美國(guó)BROOKS流量計(jì),美國(guó)MKS真空計(jì),德國(guó)普發(fā)真空計(jì),日本HORIBA流量計(jì)),COMDEL、AE、

無(wú)錫飛斯卡精密科技有限公司專業(yè)從事各大科研院校等質(zhì)量流量控制系統(tǒng)的銷售與服務(wù)。是質(zhì)量、流量、壓力、真空、溫度測(cè)量與控制系統(tǒng)的專業(yè)供應(yīng)商。
 
質(zhì)量流量控制事業(yè)部專業(yè)從事銷售服務(wù)世界著名的MFC,知名品牌有:Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等,品種規(guī)格齊全,同時(shí)經(jīng)銷真空
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光潔如新,性能可靠,原廠驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)。

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