湖北進口日本HORIBA流量計聯(lián)系方式

日本HORIBA流量計-SEC/Z712-SEC/Z722熱感傳感器壓力鈍感質(zhì)量流量計

日本HORIBA? SEC-Z700系列熱感傳感器，壓力鈍感質(zhì)量流量計

型號;

?SEC-Z712MGX? SEC-714MGX? SEC-Z722MGX? SEC-Z724MGX? SEC-Z732MGX? SEC-Z734MGX? SEC-Z742MGX? SEC-Z743MGX

概要

SEC-Z700X系列配備熱式傳感器且具有壓力不敏感性以實現(xiàn)穩(wěn)定流量控制的氣體質(zhì)量流量控制器。其中前端的壓力控制可減少氣路系統(tǒng)的成本，尺寸及復雜度。

特征

多氣體/多量程解決方案客戶可更改氣體的種類與滿量程

可變PID功能實現(xiàn)整個范圍內(nèi)的高速響應（1秒內(nèi)）

簡化氣路線無需額外增加調(diào)節(jié)器，傳感器，過濾器

穩(wěn)定控制氣體流量，不受上游端及下游端的壓力波動影響

搭載進氣壓傳感器

多種展示

1% S.P.的精度

潔凈設(shè)計 - 金屬隔板，采用不銹鋼SUS-316L，拋光面表面處理（標準）

輕巧的尺寸

50SLM內(nèi)相同的配件尺寸

信號兼容

模擬式/RS485 數(shù)字式 , DeviceNet?模式

數(shù)字信號控制


日本HORIBA流量計規(guī)格
SEC-Z512X 和 SEC-Z522X 數(shù)字式 / 模擬式質(zhì)量流量控制器, 適用于大50slm N2 標稱流量.

SEC-Z532X 和 SEC-Z542X數(shù)字式 / 模擬式質(zhì)量流量控制器, 適用于大200slm N2 標稱流量.

SEC-Z514X 和 SEC-Z524X Devicenet? 質(zhì)量流量控制器, 適用于大 50slm N2 標稱流量.

SEC-Z534X 和 SEC-Z544X Devicenet?質(zhì)量流量控制器, 適用于大 200slm N2 標稱流量.

HORIBA STEC的質(zhì)量流量控制器在其精密液體流量控制里是有名的，以及擁有世界大的市場份額，可使用DeviceNet控制接口，符合官方要求的RoHS處理 常見的壓力控制器是UR-Z700系列，一款數(shù)字式自動壓力調(diào)節(jié)器。根據(jù)不同用途，該系列還劃分為控后端壓力的UR-Z700M系列和控前端壓力的UR-Z700M-B系列。該壓力調(diào)節(jié)器通常運用于MOCVD或CVD工藝中。在工藝過程中，當供氣壓力突然發(fā)生變化時，管道或罐體內(nèi)的壓力也隨之發(fā)生變化，這不僅會影響整條管路流量的穩(wěn)定，甚至可能會對整臺設(shè)備的造成大威脅。針對這個問題HORIBA集團研發(fā)出UR-Z700系列，通過響應，高精度，穩(wěn)定控制的性能來調(diào)整管路壓力。即使面對這種情況，只要管路裝載UR-Z700系列就能夠穩(wěn)定的控制壓力，并確保氣體質(zhì)量流量控制器及反應源液的穩(wěn)定運行。?

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