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HORIBA質量流量計
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HORIBA STEC, 作為范圍內市場占有率超過35%*1的流量計生產商, 長期以來如一的為半導體工業(yè)提供高質量、多功能的產品?,F在,手攜的技術,HORIBA STEC 正在向推廣新型的質量流量控制器: Z500系列。相對于舊有的型號,Z500X 系列實現了的突破, 而且注定將改變流量控制技術的未來。在提供客戶所需流量控制的功能的同時, 實現了復合氣體、復合流量的轉換。客戶可以根據制程需要,輕松地更改流量計氣體種類和量程。


所謂質量流量控制器是一種計測和控制流體流量的裝置。流體的流量計測通常可分為體積流量和質量流量。體積流量由于受到計測時環(huán)境溫度和壓力的影響,如需要準確測定時,對溫度和壓力進行調整。而質量流量計在測定流體質量的時候,不容易受到環(huán)境溫度和壓力等外在因素的影響而能準確地進行流體測量。在對流量進行計測和控制的領域,質量流量控制器被廣泛的使用,例如半導體工業(yè)、太陽能光電工業(yè)和微加工制造業(yè)等。日本HORIBA流量計Gas Mass Flow Controllers / Meters


EC-Z500X 使用了開發(fā)的“可更改PID”系統(tǒng),任意兩個設定流量點之間的更改在1秒鐘之內完成在設定不同流量時,PID數據將進行自動的調整,即使在氣體種類和流量范圍變更后,PID數據也能夠自動優(yōu)化,實現高速響應。 復合氣體、復合流量方案 HORIBA STEC 新產品讓客戶輕松地在現場更改氣體種類和流量成為現實. 我們的 Z500 設置軟件簡單、易用. 的是, 這些變更的完成甚至不需要將MFC從系統(tǒng)拆卸下來。 如此一來,就可以很大程度上減少客戶備品的數量,同時節(jié)省了時間和成本。



日本HORIBA流量計概要

所謂質量流量控制器是一種計測和控制流體流量的裝置。流體的流量計測通??煞譃轶w積流量和質量流量。體積流量由于受到計測時環(huán)境溫度和壓力的影響,如需要準確測定時,對溫度和壓力進行調整。而質量流量計在測定流體質量的時候,不容易受到環(huán)境溫度和壓力等外在因素的影響而能準確地進行流體測量。在對流量進行計測和控制的領域,質量流量控制器被廣泛的使用,例如半導體工業(yè)、太陽能光電工業(yè)和微加工制造業(yè)等。


日本HORIBA流量計特征
高精度:設定流量值±1.0%.
MFC的線性精度是由多項式近似曲線進行補償的, 此技術在各控制范圍內獲得高的控制精度. 為了改善各種實際氣體種類的控制精度, HORIBA STEC研發(fā)了標準的氣體測量系統(tǒng), 并在大量實驗的基礎上,采集各種制程氣體的校準數據。
高速響應
SEC-Z500X 使用了開發(fā)的“可更改PID”系統(tǒng),任意兩個設定流量點之間的更改在1秒鐘之內完成在設定不同流量時,PID數據將進行自動的調整,即使在氣體種類和流量范圍變更后,PID數據也能夠自動優(yōu)化,實現高速響應。
復合氣體、復合流量方案
HORIBA STEC 新產品讓客戶輕松地在現場更改氣體種類和流量成為現實. 我們的 Z500 設置軟件簡單、易用. 的是, 這些變更的完成甚至不需要將MFC從系統(tǒng)拆卸下來。 如此一來,就可以很大程度上減少客戶備品的數量,同時節(jié)省了時間和成本。

無錫飛斯卡精密科技有限公司專業(yè)從事各大科研院校等質量流量控制系統(tǒng)的銷售與服務。是質量、流量、壓力、真空、溫度測量與控制系統(tǒng)的專業(yè)供應商。

質量流量控制事業(yè)部專業(yè)從事銷售服務世界著名的MFC,知名品牌有:Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等,品種規(guī)格齊全,同時經銷真空和鍍膜設備的品牌包括:INFICON(美國mks流量計,美國BROOKS流量計,美國MKS真空計,德國普發(fā)真空計,日本HORIBA流量計),COMDEL、AE、HUETTINGER(直流電源、射頻電源、中頻電源),VARIAN、PFEIFFER真空泵等;氣體壓力及流量測量和控制, 射頻/直流/微波電源發(fā)生器及測量工具, 氟離子/臭氧反應氣體發(fā)生器,真空產品,氣體分析儀,靜電控制及信息和控制技術等產品。我們知名的氣體流量校準系統(tǒng),對任何品牌的MFC都可精確的清洗校準。外觀光潔如新,性能可靠,原廠驗收標準。

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