美國BROOKS流量計(jì)-SLA7840金屬密封壓力控制器和流量計(jì)-高純度流路，卓越的可重復(fù)性、穩(wěn)定性和響應(yīng)時(shí)間
型號 SLA7840
Brooks 型號 SLA7840 是一種高純度金屬密封儀器，可在測量流量的同時(shí)控制壓力。遠(yuǎn)程壓力傳感器信號，以及可調(diào)節(jié)的集成 PID 控制電子設(shè)備和共面控制閥，可保持所需的設(shè)定壓力。與其他金屬密封控制器相比，共面閥降低了對壓力變化的敏感性，并提供了更低的泄漏率，確保了隨著時(shí)間的推移更穩(wěn)定的過程。
特征
一體式壓力傳感器
響應(yīng)時(shí)間：<1 秒
寬流量測量范圍，滿量程流量從 0 - 3 sccm 到 0 - 30,000 sccm
最大壓力 500 psig
全金屬密封流路：32μ 英寸 Ra 最大表面光潔度
共面閥提供更低的泄漏率
多氣體/多量程功能允許在單個(gè)設(shè)備上存儲和預(yù)編程多達(dá) 10 個(gè)氣體校準(zhǔn)和量程
DeviceNet? 和模擬通信選項(xiàng)
好處
更大的共面閥門控制范圍降低了對過程中壓力變化的敏感性，確保隨著時(shí)間的推移更穩(wěn)定的過程
全金屬潤濕流路，以保持無顆粒、無水分和無污染的工藝條件
設(shè)備也可以配置為質(zhì)量流量控制器，用于校準(zhǔn)或測試目的
多氣體/多范圍能力減少庫存
共面閥提供更大的控制范圍，減少了控制過程所需的零件數(shù)量
緊湊、節(jié)省空間的占地面積易于改裝
數(shù)字通信提供了簡單的調(diào)試和減少系統(tǒng)接線