福建代理日本HORIBA流量計使用手冊
? HOIRBA集團擁有多樣的壓力控制產品以控制氣體供應系統中的壓力。我們提供的壓力控制器采用了數字式高性能壓力傳感器與壓電陶瓷閥門，主要運用包括:晶圓冷卻系統中控制氦氣壓力以降低熱損害，氣體管路中控制后端管道壓力以保障流量計穩(wěn)定工作，反應源液罐體后端控壓以罐內壓力穩(wěn)定在范圍。這些器件的研發(fā)及使用都致力于提高制程工藝中的良品率。?
? 常見的壓力控制器UR-Z700系列??HoribaZ700系列的產品概要：
日本HORIBA流量計HORIBA STEC 系列
STEC SMT-3000模擬橡膠密封質量流量計
STEC SFC-480模擬橡膠密封質量流量計
STEC SEF-11模擬橡膠密封質量流量計
STEC SEC-Z10D模擬金屬密封質量流量計
STEC SEC-PV2000模擬金屬密封質量流量計
STEC SEC-PV1000模擬橡膠密封質量流量計
STEC SEC-7440模擬橡膠密封質量流量計
STEC SEC-7340模擬橡膠密封質量流量計
STEC SEC-7350模擬橡膠密封質量流量計
STEC SEC-7330模擬橡膠密封質量流量計
STEC SEC-4600模擬橡膠密封質量流量計
STEC SEC-4500模擬橡膠密封質量流量計
STEC SEC-4400模擬橡膠密封質量流量計
STEC SEC-3400S模擬橡膠密封質量流量計
STEC SEC-400模擬橡膠密封質量流量計
STEC SEC-300模擬橡膠密封質量流量計
STEC SEC-E40MK3低成本質量流量控制器
STEC SEC E50MK3低成本質量流量控制器
STEC LF-F/LV-F系列液體微小質量流量計/控制器
STEC SEC-400MK3低成本質量流量控制器
STEC SEC 500MK3低成本質量流量控制器
STEC SEC-N100數字式質量流量控制器
STEC SEC-Z700熱感傳感器，壓力鈍感質量流量計
STEC SEC-Z500X多范圍/多氣體的數字式質量流量控制器
STEC SEC-8000F/D高溫應用質量流量控制器
STEC SEC-2000高溫的質量流量控制器
STEC SEC-8000高溫應用質量流量控制器
? UR系列產品為使用高精度壓力傳感器及，響應迅速壓電陶瓷閥的數字式調節(jié)器。它們能控制收到的相關的外部控制信號。氣體接觸面的全金屬制造，使這些單元能夠在超純的氣體供應系統里進行理想的純凈的壓力控制。
HORIBA STEC的質量流量控制器在其精密液體流量控制里是有名的，以及擁有世界大的市場份額。
HoribaZ700系列的產品特征：
可使用DeviceNet控制接口
符合官方要求的RoHS處理
日本HORIBA流量計規(guī)格
SEC-Z512X 和 SEC-Z522X 數字式 / 模擬式質量流量控制器, 適用于大50slm N2 標稱流量.
SEC-Z532X 和 SEC-Z542X數字式 / 模擬式質量流量控制器, 適用于大200slm N2 標稱流量.
SEC-Z514X 和 SEC-Z524X Devicenet? 質量流量控制器, 適用于大 50slm N2 標稱流量.
SEC-Z534X 和 SEC-Z544X Devicenet?質量流量控制器, 適用于大 200slm N2 標稱流量.
日本HORIBA流量計概要
所謂質量流量控制器是一種計測和控制流體流量的裝置。流體的流量計測通?？煞譃轶w積流量和質量流量。體積流量由于受到計測時環(huán)境溫度和壓力的影響，如需要準確測定時，對溫度和壓力進行調整。而質量流量計在測定流體質量的時候，不容易受到環(huán)境溫度和壓力等外在因素的影響而能準確地進行流體測量。在對流量進行計測和控制的領域，質量流量控制器被廣泛的使用，例如半導體工業(yè)、太陽能光電工業(yè)和微加工制造業(yè)等。
無錫飛斯卡精密科技有限公司專業(yè)從事各大科研院校等質量流量控制系統的銷售與服務。是質量、流量、壓力、真空、溫度測量與控制系統的專業(yè)供應商。
質量流量控制事業(yè)部專業(yè)從事銷售服務世界著名的MFC，知名品牌有：Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等，品種規(guī)格齊全，同時經銷真空和鍍膜設備的品牌包括：INFICON（美國mks流量計,美國BROOKS流量計,美國MKS真空計,德國普發(fā)真空計,日本HORIBA流量計），COMDEL、AE、HUETTINGER(直流電源、射頻電源、中頻電源），VARIAN、PFEIFFER真空泵等；氣體壓力及流量測量和控制, 射頻/直流/微波電源發(fā)生器及測量工具, 氟離子/臭氧反應氣體發(fā)生器,真空產品,氣體分析儀,靜電控制及信息和控制技術等產品。我們知名的氣體流量校準系統，對任何品牌的MFC都可精確的清洗校準。外觀光潔如新，性能可靠，原廠驗收標準。
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Wuxi Feisca Precision Technology Co., Ltd specializes in the sales and service of mass flow control systems in major scientific research institutions. Is a professional supplier of mass, flow, pressure, vacuum, temperature measurement and control systems.
The Quality Flow Control Division specializes in the sales and service of world-renowned MFCs. Well-known brands include: Brooks, MKS, HORIBA, UNIT, Tylan, AE, STEC, Alicat, etc., with complete varieties and specifications. At the same time, the brands that distribute vacuum and coating equipment include: INFICON (American mks flowmeter, American BROOKS flowmeter, American MKS vacuum gauge, German Pfeiffer vacuum gauge, Japanese HORIBA flowmeter), COMDEL, AE, HUETTINGER (DC power supply, RF power supply, intermediate frequency power supply), VARIAN, PFEIFFER vacuum pump, etc.; Gas pressure and flow measurement and control, RF/DC/microwave power generators and measuring tools, fluoride ion/ozone reactive gas generators, vacuum products, gas analyzers, electrostatic control and information and control technology products. Our well-known gas flow calibration system can accurately clean and calibrate any brand of MFC. The appearance is clean as new, the performance is reliable, and the original factory acceptance standard.
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