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HORIBA質(zhì)量流量計
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HORIBA STEC的質(zhì)量流量控制器在其精密液體流量控制里是有名的,以及擁有世界大的市場份額,可使用DeviceNet控制接口,符合官方要求的RoHS處理 常見的壓力控制器是UR-Z700系列,一款數(shù)字式自動壓力調(diào)節(jié)器。根據(jù)不同用途,該系列還劃分為控后端壓力的UR-Z700M系列和控前端壓力的UR-Z700M-B系列。該壓力調(diào)節(jié)器通常運用于MOCVD或CVD工藝中。在工藝過程中,當供氣壓力突然發(fā)生變化時,管道或罐體內(nèi)的壓力也隨之發(fā)生變化,這不僅會影響整條管路流量的穩(wěn)定,甚至可能會對整臺設備的造成大威脅。針對這個問題HORIBA集團研發(fā)出UR-Z700系列,通過響應,高精度,穩(wěn)定控制的性能來調(diào)整管路壓力。即使面對這種情況,只要管路裝載UR-Z700系列就能夠穩(wěn)定的控制壓力,并確保氣體質(zhì)量流量控制器及反應源液的穩(wěn)定運行。?












SEC/N122JM氣體質(zhì)量流量控制器概要



日本HORIBA流量計概要
質(zhì)量流量計是半導體制造設備中關鍵的零部件。它的工作穩(wěn)定與否往往成為半導體制程成敗的關鍵因素。

HORIBA STEC, 作為范圍內(nèi)市場占有率超過35%*1的流量計生產(chǎn)商, 長期以來如一的為半導體工業(yè)提供高質(zhì)量、多功能的產(chǎn)品?,F(xiàn)在,手攜的技術,HORIBA STEC 正在向推廣新型的質(zhì)量流量控制器: Z500系列。

相對于舊有的型號,Z500X 系列實現(xiàn)了的突破, 而且注定將改變流量控制技術的未來。在提供客戶所需流量控制的功能的同時, 實現(xiàn)了復合氣體、復合流量的轉換??蛻艨梢愿鶕?jù)制程需要,輕松地更改流量計氣體種類和量程*2。

此外,藉由產(chǎn)品材料的技術革新, Z500系列全面滿足了 RoHS 綠產(chǎn)品的設計要求,為客戶提升產(chǎn)品價值。

高性能的Z500系列流量計,將帶給您更多驚喜。全世界正見著這一即將改變整個半導體工業(yè)的新型質(zhì)量流量計的誕生。

1 參考 VLSI's 2007 研究報告。
2 復合氣體、復合流量功能。

? UR系列產(chǎn)品為使用高精度壓力傳感器及,響應迅速壓電陶瓷閥的數(shù)字式調(diào)節(jié)器。它們能控制收到的相關的外部控制信號。氣體接觸面的全金屬制造,使這些單元能夠在超純的氣體供應系統(tǒng)里進行理想的純凈的壓力控制。 HORIBA STEC的質(zhì)量流量控制器在其精密液體流量控制里是有名的,以及擁有世界大的市場份額。 HoribaZ700系列的產(chǎn)品特征: 可使用DeviceNet控制接口 符合官方要求的RoHS處理

無錫飛斯卡精密科技有限公司專業(yè)從事各大科研院校等質(zhì)量流量控制系統(tǒng)的銷售與服務。是質(zhì)量、流量、壓力、真空、溫度測量與控制系統(tǒng)的專業(yè)供應商。

質(zhì)量流量控制事業(yè)部專業(yè)從事銷售服務世界著名的MFC,知名品牌有:Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等,品種規(guī)格齊全,同時經(jīng)銷真空和鍍膜設備的品牌包括:INFICON(美國mks流量計,美國BROOKS流量計,美國MKS真空計,德國普發(fā)真空計,日本HORIBA流量計),COMDEL、AE、HUETTINGER(直流電源、射頻電源、中頻電源),VARIAN、PFEIFFER真空泵等;氣體壓力及流量測量和控制, 射頻/直流/微波電源發(fā)生器及測量工具, 氟離子/臭氧反應氣體發(fā)生器,真空產(chǎn)品,氣體分析儀,靜電控制及信息和控制技術等產(chǎn)品。我們知名的氣體流量校準系統(tǒng),對任何品牌的MFC都可精確的清洗校準。外觀光潔如新,性能可靠,原廠驗收標準。

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Wuxi Feisca Precision Technology Co., Ltd  specializes in the sales and service of mass flow control systems in major scientific research institutions. Is a professional supplier of mass, flow, pressure, vacuum, temperature measurement and control systems.

The Quality Flow Control Division specializes in the sales and service of world-renowned MFCs. Well-known brands include: Brooks, MKS, HORIBA, UNIT, Tylan, AE, STEC, Alicat, etc., with complete varieties and specifications. At the same time, the brands that distribute vacuum and coating equipment include: INFICON (American mks flowmeter, American BROOKS flowmeter, American MKS vacuum gauge, German Pfeiffer vacuum gauge, Japanese HORIBA flowmeter), COMDEL, AE, HUETTINGER (DC power supply, RF power supply, intermediate frequency power supply), VARIAN, PFEIFFER vacuum pump, etc.; Gas pressure and flow measurement and control, RF/DC/microwave power generators and measuring tools, fluoride ion/ozone reactive gas generators, vacuum products, gas analyzers, electrostatic control and information and control technology products. Our well-known gas flow calibration system can accurately clean and calibrate any brand of MFC. The appearance is clean as new, the performance is reliable, and the original factory acceptance standard.

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