美國BROOKS流量計(jì)GF100 系列金屬密封熱式質(zhì)量流量控制器和儀表

高純度流路。卓越的性能、可靠性和可重復(fù)性。
型號 GF100 / GF101 / GF120 / GF120XSD / GF120XSL / GF121 / GF125 / GF126
快速響應(yīng)、可重復(fù)地輸送高純度和超高純度的工藝氣體——這就是 GF100 系列金屬密封質(zhì)量流量控制器和儀表所提供的性能。GF100 系列專為半導(dǎo)體、MOCVD 和其他氣體流量控制應(yīng)用而設(shè)計(jì)，其可靠性超過了半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，確保了可重復(fù)的、高度穩(wěn)定的性能。標(biāo)準(zhǔn) MultiFlo TM技術(shù)使一臺 MFC 能夠支持?jǐn)?shù)千種氣體類型和范圍組合，而無需將其從氣體管線中移除或影響準(zhǔn)確性。

結(jié)果：提高了工藝靈活性和效率，并結(jié)合了行業(yè)最高水平的工藝氣體純度，有助于最大限度地提高產(chǎn)量和生產(chǎn)力。

美國BROOKS流量計(jì)GF100特征

每年<±0.5%滿量程的長期零穩(wěn)定性
穩(wěn)定時(shí)間：300 ms - <700 ms 或 700 ms - <1 秒
滿量程流量高達(dá) 300 slpm
全金屬密封流路：可選 4µ 或 10µ 英寸 Ra 表面光潔度
耐腐蝕 Hastelloy® T-Rise 傳感器提高了高溫下的測量重現(xiàn)性 
MultiFlo TM氣體和量程可編程性——一個(gè)設(shè)備，數(shù)千種氣體類型和量程組合，無需從氣體管路中移除 MFC 或影響精度
本地顯示
可選的 SDS 氣體輸送
DeviceNet TM , RS-485 L-Protocol 和模擬接口

美國BROOKS流量計(jì)GF100好處

高性能組件經(jīng)過七倍半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的可靠性測試
全金屬耐腐蝕流路，減少表面積和未掃過體積，確保在吹掃步驟中更快干燥
使用 MultiFlo TM，可以在 60 秒內(nèi)設(shè)置新的工藝氣體和/或范圍——不再需要移除和校準(zhǔn) MFC
高度可配置的平臺可以直接替換和升級大多數(shù)品牌的金屬密封 MFC，包括以前的 Celerity、Mykrolis、Tylan 和 UNIT 品牌
GF120 安全輸送系統(tǒng) (SDS®) 是 Brooks 最先進(jìn)的低壓降質(zhì)量流量控制器，用于輸送植入和蝕刻工藝中使用的低于大氣壓的安全輸送系統(tǒng) (SDS) 氣體
方便的用戶顯示和獨(dú)立的診斷/服務(wù)端口有助于設(shè)備安裝、監(jiān)控和故障排除

美國BROOKS流量計(jì)GF100應(yīng)用

半導(dǎo)體蝕刻工具
薄膜化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)（CVD、MOCVD、PECVD、ALD）
物理氣相沉積 (PVD) 系統(tǒng)
外延工藝系統(tǒng)

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