美國BROOKS流量計-SLA5800系列彈性體密封熱質(zhì)量流量控制器和儀表介紹
型號 SLA5850 / SLA5851 / SLA5853 / SLA5860 / SLA5861 / SLA5863 推進(jìn)并簡化您的質(zhì)量流量控制。
想象一下，只選擇一個質(zhì)量流量控制器平臺來處理進(jìn)入單個過程的十四種不同的壓力或流量。同時在另一側(cè)提供完全相同、超精確和可重復(fù)的輸出。這就是您使用 SLA5800 系列數(shù)字質(zhì)量流量控制器和儀表所獲得的高級簡單性。
SLA5800 系列具有質(zhì)量流量測量和控制技術(shù)行業(yè)領(lǐng)導(dǎo)者所期望的高精度、高零位穩(wěn)定性和高重復(fù)性。SLA5800 數(shù)字 MFC 采用卓越的設(shè)計和先進(jìn)的計量和測試系統(tǒng)制造，提供比競爭產(chǎn)品更好的零漂移規(guī)范。SLA5800 已被證明可以最大限度地延長生產(chǎn)正常運(yùn)行時間并降低維護(hù)和機(jī)器停機(jī)成本。
特征
ISO/IEC 17025 認(rèn)證
SLA 系列生物技術(shù)MFC提供兩個選項包，具有專門為提高生物工藝性能而創(chuàng)建的功能。查看哪個軟件包適合您的流程。
每年<0.2%滿量程的長期零穩(wěn)定性
可追溯的校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)支持卓越的準(zhǔn)確性
流量額定值范圍廣 - 從 0.003 到 2500 lpm
最高壓力等級 - 高達(dá) 1500 psi/100 bar（可選：4500 psi/310 bar）
可編程多氣體/多量程功能
獨(dú)立且易于訪問的診斷/服務(wù)端口
廣泛的可用通信選項現(xiàn)在包括EtherNetIP™和PROFINET，它們具有基于 Web 的界面，可讓您輕松配置網(wǎng)絡(luò)設(shè)置。
模塊化設(shè)計易于在工廠或現(xiàn)場維護(hù)
好處
提供ISO/IEC 17025認(rèn)證和校準(zhǔn)，流量精度為 SP 的 ±0.6%
MFC 氣流（濕路）中的所有彈性材料（包括SLA 系列生物技術(shù)MFC提供的閥座和 O 形圈）的增強(qiáng)型閥門關(guān)閉、寬量程比、認(rèn)證和批準(zhǔn)（USP Class VI/ADI-free）
傳感器的長期穩(wěn)定性降低了維護(hù)和定期重新校準(zhǔn)的要求，從而降低了總擁有成本
專有的 Brooks Instrument 熱傳感技術(shù)可提供出色的信噪比性能，以提高低設(shè)定點(diǎn)的準(zhǔn)確度
為不同的氣體和流量范圍選擇一種設(shè)備平臺
多達(dá)六種氣體校準(zhǔn)的存儲和預(yù)編程使用戶可以在單個設(shè)備上輕松切換不同氣體和范圍，并減少庫存
用戶可訪問的服務(wù)端口簡化了安裝、故障排除和診斷任務(wù)，而不會干擾流量控制器的操作
耐用、堅固的金屬頂蓋可防止安裝過程中損壞
EtherNet/IP™和PROFINET允許在質(zhì)量流量控制器單獨(dú)提供的診斷之外進(jìn)行多種附加診斷，為用戶提供豐富的實(shí)時系統(tǒng)信息
符合行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)和法規(guī)要求的可追溯校準(zhǔn)
應(yīng)用
生命科學(xué)
化學(xué)和石化催化劑研究和中試工藝
實(shí)驗室和分析系統(tǒng)
燃料電池技術(shù)
產(chǎn)品類別質(zhì)量流量控制器
微分器
寬流量和壓力范圍
卓越的長期穩(wěn)定性
高準(zhǔn)確率
表現(xiàn)
流量范圍（滿量程）.003 - 2500 slpm
準(zhǔn)確性
17025 認(rèn)證設(shè)備（包括線性度，不包括校準(zhǔn)系統(tǒng)測量不確定度，根據(jù) SEMI E69）
±0.6% SP (20-100% FS)
±0.12% FS (<20% FS)
1100 slpm 至 2500 slpm：FS 的 ±0.6%
標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備（包括來自參考標(biāo)準(zhǔn)的不確定性
±0.9% SP (20-100% FS)
±0.18% FS (2-20% FS)
1100 slpm 至 2500 slpm：±1.0% FS
重復(fù)性
0.20% SP
線性度
包含在準(zhǔn)確性中
響應(yīng)時間
0.003 - 100 slpm：<1 秒
100 - 2500 slpm：<3 秒
多氣體和范圍可配置性
標(biāo)準(zhǔn)
最大壓力
.003-200 slpm：1500 psi/103 bar
100 - 2500 slpm：1000 psi/70 bar
50 slpm max 設(shè)備上的可選 4500 psi/310 bar
控制范圍
1-50 slpm：FS 調(diào)節(jié)比為 100:1
50-2500 lpm：FS 調(diào)節(jié)比為 50:1
零穩(wěn)定性
< 0.2% FS 每年
流動溫度系數(shù)
零：<0.05% FS per o C
跨度：<0.1% SP per o C
壓力系數(shù)
0.03% 每 psi (0-200 psi N 2 )
態(tài)度敏感度
重新調(diào)零后與指定精度的最大偏差 <0.2% FS
收視率
最高溫度65攝氏度_
差壓范圍
控制器
.003 - 50 lpm：5 psi / 0.35 bar
50 - 100 lpm：10 psi / 0.69 bar
500 lpm：7.5 psi / 0.52 bar
1000 lpm：14.5 psi / 1.00 bar
2500 lpm：35.0 psi / 2.41 bar
泄漏完整性1x10 -9 atm cc/sec He
機(jī)械的
密封材料彈性體密封
接液材料
316L不銹鋼
高合金不銹鋼
Viton® 氟橡膠
丁腈橡膠
Kalrez®
鐵氟龍®/Kalrez®
三元乙丙橡膠
閥門選項
常閉
常開
儀表（無閥門）
診斷
診斷能力可用的
狀態(tài)燈
MFC 運(yùn)行狀況、網(wǎng)絡(luò)狀態(tài)
警報
傳感器輸出
控制閥輸出
過溫
電源浪涌/驟降
網(wǎng)絡(luò)中斷
診斷/服務(wù)端口RS485 通過 2.5 毫米插孔
電氣
模擬通信
0-5 V、1-5 V、0-10 V、0-20 mA、4-20 mA
數(shù)字通信DeviceNet™
EtherCAT®
EtherNet/IP™
FOUNDATION TM現(xiàn)場總線
Profibus®
PROFINET
RS-485
電氣連接
DeviceNet™：1xM12，帶螺紋連接螺母 (B)
EtherCAT®、EtherNet/IP™：1x5 針 M8，帶螺紋耦合螺母/2xRJ45
Profibus®：1x15 針公 Sub-D/1x9 針母 Sub-D
RS485：1 x 15 針公 Sub-D，(A)
電源/消耗
模擬 / Profibus® / RS-485
閥口 > 0.032"：8 瓦
閥孔 ≤ 0.032"：5 瓦
不帶閥門：2 瓦
DeviceNet™ / EtherNet/IP™
閥口 > 0.032"：10 瓦
閥孔 ≤ 0.032"：7 瓦
不帶閥門：4 瓦 (DeviceNet™)、3 瓦 (EtherNet/IP™)
EtherCAT®
閥口 > 0.032"：8.5 瓦
閥孔 ≤ 0.032"：5.5 瓦
不帶閥門：2.5 瓦
遵守
認(rèn)證/批準(zhǔn)
ISO/IEC 17025:2005
CE：EMC 指令 2014/30/EU
指令 2011/65/EU
UL（認(rèn)可）： I 類，2 區(qū)
，A、B、C、D
類 I 類，2 區(qū)，IIC T4
II 類，22 區(qū)
ATEX：II 3 G Ex nA IIC T4 Gc
IECEx：II 3 G Ex nA IIC T4 Gc
KOSHA: Ex nA IIC T4
環(huán)境合規(guī)
RoHS 指令 (2011/65/EU)
REACH 指令 EC 1907/2006
尺寸中等的