美國(guó)BROOKS流量計(jì)GF80特點(diǎn)
長(zhǎng)期零點(diǎn)穩(wěn)定性，每年變動(dòng)小于滿量程的 ± 0.5%
1 秒內(nèi)穩(wěn)定
滿量程流速高達(dá) 300 slpm
全金屬密封流路 - 16µ 英寸 Ra 表面處理
耐腐蝕 Hastelloy® 傳感器可在較低溫度下工作，適用于易發(fā)生熱分解的氣體
可編程 MultiFloTM 功能 - 一臺(tái)設(shè)備即可滿足數(shù)千種氣體類型和各種量程組合的需求，無(wú)需從氣路上拆除 MFC 并且不影響精度
通過有源溫度補(bǔ)償實(shí)現(xiàn)的一流溫度系數(shù)規(guī)范
內(nèi)嵌式常規(guī)自檢功能和獨(dú)立的診斷/維護(hù)端口
帶有 VCR 配件的細(xì)線體設(shè)計(jì)
DeviceNetTM、Profibus®、RS-485 和模擬接口
美國(guó)BROOKS流量計(jì)GF80優(yōu)勢(shì)
1 秒完成流量穩(wěn)定，消除廢氣和過程變量影響
未采用會(huì)發(fā)生氧滲透并且使用一定時(shí)間之后需要進(jìn)行更換的彈性體密封件
MultiFloTM 精簡(jiǎn)了過程氣體切換操作 — 無(wú)需再拆除并重新校準(zhǔn) MFC
60 秒內(nèi)即可完成新氣體和/或量程的設(shè)定操作
測(cè)量精度不受溫度變化影響
可輕松訪問診斷端口以實(shí)現(xiàn)運(yùn)行時(shí)間最大化
規(guī)格緊湊，可輕松集成至緊張的設(shè)備空間內(nèi)；設(shè)備改型的絕佳選擇
多協(xié)議通信接口可簡(jiǎn)化向現(xiàn)有系統(tǒng)的集成操作
美國(guó)BROOKS流量計(jì)GF80應(yīng)用
對(duì)翻新后的半導(dǎo)體加工工具中的原有 MFC 進(jìn)行經(jīng)濟(jì)高效的改型/升級(jí)
減少六英寸/八英寸半導(dǎo)體工廠的 MFC 庫(kù)存
用于 LED 和功率器件生產(chǎn)的 MOCVD
太陽(yáng)能/薄膜化學(xué)氣相沉積 (CVD) 系統(tǒng)
分析用 OEM 設(shè)備
無(wú)錫飛斯卡精密科技有限公司專業(yè)從事各大科研院校等質(zhì)量流量控制系統(tǒng)的銷售與服務(wù)。是質(zhì)量、流量、壓力、真空、溫度測(cè)量與控制系統(tǒng)的專業(yè)供應(yīng)商。質(zhì)量流量控制事業(yè)部專業(yè)從事銷售服務(wù)世界著名的MFC，知名品牌有：美國(guó)mks流量計(jì),美國(guó)BROOKS流量計(jì),美國(guó)MKS真空計(jì),德國(guó)普發(fā)真空計(jì),日本HORIBA流量計(jì)，Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等，品種規(guī)格齊全，同時(shí)經(jīng)銷真空和鍍膜設(shè)備的品牌包括：INFICON（膜厚控制儀、真空計(jì)/真空規(guī)、四極質(zhì)譜儀、壓強(qiáng)控制系統(tǒng)、氦質(zhì)譜檢漏儀、冷媒檢漏儀、真空閥門），COMDEL、AE、HUETTINGER(直流電源、射頻電源、中頻電源），VARIAN、PFEIFFER真空泵等；氣體壓力及流量測(cè)量和控制, 射頻 /直流 /微波電源發(fā)生器及測(cè)量工具, 氟離子 /臭氧反應(yīng)氣體發(fā)生器, 真空產(chǎn)品, 氣體分析儀, 靜電控制及信息和控制技術(shù)等產(chǎn)品。我們知名的氣體流量校準(zhǔn)系統(tǒng)，對(duì)任何品牌的MFC都可精確的清洗校準(zhǔn)。外觀光潔如新，性能可靠，原廠驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)。