美國(guó)mks流量計(jì)G系列GE50A數(shù)字控制質(zhì)量流量控制器可提供RS485、Profibus、EtherCAT、PROFINET或DeviceNet I/o。數(shù)字控制電子設(shè)備利用最新的MKS控制算法，在整個(gè)設(shè)備控制范圍內(nèi)對(duì)設(shè)定值做出快速、可重復(fù)的響應(yīng)。典型的響應(yīng)時(shí)間大約為500毫秒。數(shù)字校準(zhǔn)在校準(zhǔn)氣體上產(chǎn)生1%的設(shè)定點(diǎn)精度。
1、流速?gòu)?到50，000 sccm
2、氟橡膠、丁腈橡膠、氯丁橡膠或Kalrez的密封和閥塞選項(xiàng)
3、廣泛選擇數(shù)字(EtherCAT、DeviceNet、Profibus、PROFINET和RS485)或模擬(0-5 VDC或4-20 mA) I/O
4、標(biāo)準(zhǔn)閉合電導(dǎo)泄漏率小于滿(mǎn)量程的0.1%
5、小于750毫秒的建立時(shí)間
|
型號(hào) |
滿(mǎn)量程流量范圍 |
配件類(lèi)型 |
密封材料 |
價(jià)格 |
|
GE50A013101RMV020 |
10 sccm |
4 VCR male |
15-pin D-sub (tied grounds) |
聯(lián)系我們 |
|
GE50A013102RMV020 |
100 sccm |
4 VCR male |
15-pin D-sub (tied grounds) |
聯(lián)系我們 |
|
GE50A013102SMV020 |
100 sccm |
0.25 in. Swagelok-style |
15-pin D-sub (tied grounds) |
聯(lián)系我們 |
|
GE50A013103RMV020 |
1000 sccm |
4 VCR male |
15-pin D-sub (tied grounds) |
聯(lián)系我們 |
|
GE50A013103SMV020 |
1000 sccm |
0.25 in. Swagelok-style |
15-pin D-sub (tied grounds) |
聯(lián)系我們 |
|
GE50A013201RMV020 |
20 sccm |
4 VCR male |
15-pin D-sub (tied grounds) |
聯(lián)系我們 |
|
GE50A013202RMV020 |
200 sccm |
4 VCR male |
15-pin D-sub (tied grounds) |
聯(lián)系我們 |
|
GE50A013203RMV020 |
2000 sccm |
4 VCR male |
15-pin D-sub (tied grounds) |
聯(lián)系我們 |
|
GE50A013204RMV020 |
20000 sccm |
4 VCR male |
15-pin D-sub (tied grounds) |
聯(lián)系我們 |
|
GE50A013204SMV020 |
20000 sccm |
0.25 in. Swagelok-style |
15-pin D-sub (tied grounds) |
聯(lián)系我們 |
|
GE50A013501RMV020 |
50 sccm |
4VCR Male |
15-pin D-sub (tied grounds) |
聯(lián)系我們 |
|
GE50A013502RMV020 |
500 sccm |
4 VCR male |
15-pin D-sub (tied grounds) |
聯(lián)系我們 |
|
GE50A013503RMV020 |
5000 sccm |
4 VCR male |
15-pin D-sub (tied grounds) |
聯(lián)系我們 |
規(guī)范
|
類(lèi)型
|
質(zhì)量流量控制器
|
跨度溫度系數(shù)
|
讀數(shù)的% 3c 0.08%/C
|
|
控制范圍
|
滿(mǎn)量程的2%至100%
|
入口壓力系數(shù)
|
讀數(shù)的%3C0.02%每平方英寸
|
|
滿(mǎn)量程流量范圍
|
5 - 50，000 sccm
|
典型建立時(shí)間
|
%3C750毫秒，典型值高于滿(mǎn)量程的5%
|
|
密封材料
|
氟橡膠、丁腈橡膠、氯丁橡膠或Kalrez
|
預(yù)熱時(shí)間
|
30分鐘
|
|
模擬連接器
|
9引腳或15引腳D-sub minimum
|
工作溫度
|
10攝氏度至50攝氏度
|
|
最大入口壓力
|
150磅/平方英寸
|
儲(chǔ)存濕度
|
0至95%相對(duì)濕度，非冷凝
|
|
正常工作壓差
|
10到5000 sccm10至40 psid，10000至20000 sccm15至40 psid，30000至50000 sccm25至40磅/平方英寸
|
儲(chǔ)存溫度
|
-20至80攝氏度
|
|
耐受壓力
|
1000磅/平方英寸
|
通過(guò)關(guān)閉的閥門(mén)泄漏完整性
|
高達(dá)10K閥門(mén)%3C0.1%的40 psig大氣壓力下的FS，20K - 50K閥門(mén)%3C1.0%的40 psig大氣壓力下的FS
|
|
破裂壓力
|
1500磅/平方英寸
|
|
典型精度
|
20至100%滿(mǎn)量程時(shí)為設(shè)定值的1 %, 2至20%滿(mǎn)量程時(shí)為滿(mǎn)量程的0.2%
|
濕材料
|
316L不銹鋼VAR、316不銹鋼、埃爾吉洛伊鎳
|
|
可重復(fù)性
|
讀數(shù)的0.3%
|
表面拋光
|
16英寸平均半徑
|
|
解決
|
滿(mǎn)量程的0.1%
|
重量
|
3磅(1.4千克)
|
|
零溫度系數(shù)
|
%3C0.05%滿(mǎn)量程/℃
|
服從
|
英國(guó)國(guó)教會(huì)
|
特征
|
數(shù)字輸入輸出 |
DeviceNet |
RS485 |
過(guò)程現(xiàn)場(chǎng)總線(xiàn)（process field bus的縮寫(xiě)） |
以太貓 |
PROFINET |
|
所需輸入功率 |
+11至+25伏直流電每(%3C2瓦) |
+15至+24伏直流電(%3C2瓦) |
+15至+24伏直流電(%3C2瓦) |
+24伏直流電(%3C3瓦) |
+24伏直流電(%3C3瓦) |
|
連接器 |
5針微型連接器(電源和通信) |
9針D型公接頭(電源和通信) |
9針D型公接頭(電源)
9針D型內(nèi)螺紋(通用) |
2個(gè)RJ-45(通信)男性，M8男性，
5針(電源) |
2個(gè)RJ-45(通信)男性，M8男性，
5針(電源) |
|
數(shù)據(jù)速率切換/選擇 |
4個(gè)位置:125，250，500K(默認(rèn))
(可通過(guò)網(wǎng)絡(luò)編程) |
無(wú)開(kāi)關(guān)通過(guò)RS485設(shè)置數(shù)據(jù)速率 |
無(wú)開(kāi)關(guān)通過(guò)Profibus設(shè)置數(shù)據(jù)速率 |
沒(méi)有開(kāi)關(guān) |
沒(méi)有開(kāi)關(guān) |
|
商業(yè)匯率 |
125 Kbps250 Kbps500 Kbps |
9.6 Kbps19.2 Kbps 38.4 Kbps |
9.6 Kbps至12 Mbps |
100 Mbps |
100 Mbps |
|
MAC ID交換機(jī)/地址 |
2個(gè)開(kāi)關(guān)，10個(gè)位置；0.0到6.3 1到254 |
通過(guò)RS485站地址0，0至9，9設(shè)置地址 |
2個(gè)開(kāi)關(guān)，10個(gè)位置 |
3個(gè)開(kāi)關(guān)，16個(gè)位置 |
不適用的 |
|
網(wǎng)絡(luò)規(guī)模 |
多達(dá)64個(gè)節(jié)點(diǎn) |
多達(dá)32個(gè)節(jié)點(diǎn) |
多達(dá)99個(gè)節(jié)點(diǎn) |
多達(dá)4095個(gè)節(jié)點(diǎn) |
不適用的 |
|
視覺(jué)指示器 |
LED網(wǎng)絡(luò)(綠色/紅色)
LED模塊(綠色/紅色) |
LED通信(黃色)
LED錯(cuò)誤(紅色) |
LED通信(綠色/紅色)
LED錯(cuò)誤(綠色/紅色) |
LED電源(綠色)
LED運(yùn)行(綠色)
LED錯(cuò)誤(紅色)
LED通信(綠色) |
LED維護(hù)(琥珀色)
LED總線(xiàn)故障(紅色)
LED就緒(綠色)
LED系統(tǒng)故障(紅色) |
|
服從 |
英國(guó)國(guó)教會(huì) |
英國(guó)國(guó)教會(huì) |
英國(guó)國(guó)教會(huì) |
英國(guó)國(guó)教會(huì) |
英國(guó)國(guó)教會(huì) |
廣泛的數(shù)字和模擬接口選擇
GE50A數(shù)字控制MFC可提供模擬或數(shù)字I/O。數(shù)字控制電子設(shè)備利用最新的MKS控制算法，在整個(gè)設(shè)備控制范圍內(nèi)對(duì)設(shè)定點(diǎn)提供快速和可重復(fù)的響應(yīng)。典型的響應(yīng)時(shí)間大約為500毫秒。GE50A的模擬和數(shù)字I/O可輕松用于替換1179A MFCs的相同I/O類(lèi)型。所有GE50As都包括Modbus作為可用的輔助I/O(不包括PROFINET和EtherCAT)。
標(biāo)準(zhǔn)3英寸尺寸
GE50A采用標(biāo)準(zhǔn)的3英寸尺寸，最常用于5 sccm至50 slm流速范圍內(nèi)的MFC，無(wú)需修改現(xiàn)有的氣體管線(xiàn)配置即可使用。
所有金屬浸濕表面
GE50A的設(shè)計(jì)采用了最少的彈性體。只有一個(gè)外部彈性體密封和彈性體閥塞。否則，所有潤(rùn)濕表面都是金屬的。GE50A標(biāo)配氟橡膠密封件，以及丁腈橡膠、氯丁橡膠、EPMD或Kalrez可選件，允許該裝置用于需要這些替代件之一的氣體
設(shè)定值準(zhǔn)確度的百分比
對(duì)于20%至100%的全刻度流量范圍，包括的數(shù)字校準(zhǔn)產(chǎn)生1%的設(shè)定點(diǎn)精度，使用N2校準(zhǔn)氣體。設(shè)定點(diǎn)精度可實(shí)現(xiàn)精確的過(guò)程控制，相對(duì)于滿(mǎn)量程精度而言。對(duì)于2%至20%滿(mǎn)量程的質(zhì)量流量，精度為滿(mǎn)量程的0.2%。
嵌入式用戶(hù)界面
嵌入式用戶(hù)界面提供了輕松更改設(shè)備范圍和用戶(hù)氣體的能力，從而降低了庫(kù)存需求。您還可以監(jiān)視MFC功能并就地收集性能數(shù)據(jù)。
專(zhuān)利熱傳感器
成熟的專(zhuān)利熱傳感器設(shè)計(jì)提供了卓越的零點(diǎn)穩(wěn)定性。美國(guó)專(zhuān)利號(hào)5461913。
無(wú)錫飛斯卡精密科技有限公司專(zhuān)業(yè)從事各大科研院校等質(zhì)量流量控制系統(tǒng)的銷(xiāo)售與服務(wù)。是質(zhì)量、流量、壓力、真空、溫度測(cè)量與控制系統(tǒng)的專(zhuān)業(yè)供應(yīng)商。
質(zhì)量流量控制事業(yè)部專(zhuān)業(yè)從事銷(xiāo)售服務(wù)世界著名的MFC，知名品牌有：Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等，品種規(guī)格齊全，同時(shí)經(jīng)銷(xiāo)真空
和鍍膜設(shè)備的品牌包括：INFICON（美國(guó)mks流量計(jì),美國(guó)BROOKS流量計(jì),美國(guó)MKS真空計(jì),德國(guó)普發(fā)真空計(jì),日本HORIBA流量計(jì)），COMDEL、AE、
HUETTINGER(直流電源、射頻電源、中頻電源），VARIAN、PFEIFFER真空泵等；氣體壓力及流量測(cè)量和控制, 射頻 /直流 /微波電源發(fā)生器及測(cè)量工具, 氟離子 /
臭氧反應(yīng)氣體發(fā)生器, 真空產(chǎn)品, 氣體分析儀, 靜電控制及信息和控制技術(shù)等產(chǎn)品。我們知名的氣體流量校準(zhǔn)系統(tǒng)，對(duì)任何品牌的MFC都可精確的清洗校準(zhǔn)。外觀(guān)
光潔如新，性能可靠，原廠(chǎng)驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)。