根據(jù)復(fù)合真空計(jì)測(cè)量原理使用的物理機(jī)制，將主要真空計(jì)分為三類：利用力學(xué)性能、利用氣體動(dòng)力學(xué)效果和利用電粒子效果的真空計(jì)。

　　復(fù)合真空計(jì)利用力學(xué)性能的真空計(jì)是典型的波頓量規(guī)和薄膜量規(guī)。復(fù)合真空計(jì)利用氣體動(dòng)力學(xué)效應(yīng)的典型真空計(jì)有菲拉尼電阻計(jì)和熱電偶計(jì)。復(fù)合真空計(jì)利用電粒子效應(yīng)的典型真空計(jì)有熱陰極電離計(jì)和冷陰極電離計(jì)。

　　1.波頓條例

　　細(xì)長(zhǎng)的銅管根據(jù)氣體壓力有拉伸現(xiàn)象，旋轉(zhuǎn)杠桿和齒輪，使指針顯示在不同的刻度上，以便讀取相應(yīng)的氣壓值。這個(gè)儀表盤(pán)的測(cè)量范圍一般在100Pa  ~ 1atm之間。

　　2.薄膜容量規(guī)

　　在不同的壓力下，金屬膜在力不同的情況下會(huì)有不同尺度的變形，通過(guò)測(cè)量金屬膜和電極之間的電容變化，可以知道金屬膜中氣壓的變化。此儀表盤(pán)的測(cè)量范圍通常為0.01Pa至100Pa、0.1Pa至1000Pa等。

　　這種規(guī)則的優(yōu)點(diǎn)是靈敏度很高。缺點(diǎn)是要在高于環(huán)境溫度的恒溫條件下使用。為了消除溫差對(duì)膜片力學(xué)性能的影響，一般需要預(yù)熱幾個(gè)小時(shí)。

　　3.菲拉尼電阻計(jì)

　　也稱為熱電阻真空計(jì)，它利用電阻和溫度之間關(guān)系的原理工作。由于氣壓不同氣體分子的熱傳導(dǎo)能力不同，在對(duì)烈士施加一定電流時(shí)，由于氣壓不同通過(guò)氣體傳導(dǎo)的熱量不同，烈士維持的溫度不同，因此烈士阻力大小不同，可以通過(guò)測(cè)量烈士阻力大小來(lái)估算氣壓大小。配合電橋測(cè)量烈士電阻的變化，可以有效提高測(cè)量的準(zhǔn)確度。此儀表盤(pán)的測(cè)量范圍通常在0.1Pa到1000Pa之間。由于不同氣體在相同氣壓下的熱導(dǎo)率不同，因此，該規(guī)定應(yīng)根據(jù)不同的使用氣體進(jìn)行測(cè)量。

　　4.熱電偶規(guī)

　　熱電偶計(jì)與菲拉尼電阻計(jì)的基本原理一致，但不是測(cè)量火線電阻的變化，而是使用熱電偶直接測(cè)量熱比的溫度變化。測(cè)量范圍通常在0.1Pa到1000Pa之間。和菲拉尼阻力計(jì)一樣，這一規(guī)則也需要在不同的使用氣體中加以糾正。

　　5.熱陰極電離規(guī)

　　在熱陰極電離計(jì)中，熱陰極，即燈絲發(fā)射電子，電離真空中的氣體分子，產(chǎn)生離子，收集極收集的離子形成離子電流，通過(guò)測(cè)量離子電流的大小，可以估算真空中氣體分子的密度，從而得到壓力大小。此量規(guī)的測(cè)量范圍通常為1.0E-05Pa至0.1Pa。改進(jìn)的熱陰極電離規(guī)，Bayard-Alpert法規(guī)可以將測(cè)量下限降低到1.0E-09Pa。由于同一氣壓下氣體的電離率不同，因此使用時(shí)也要在不同氣體下進(jìn)行校正。